如何選擇適合的真空系統

    選擇一套適合自己的真空系統，往往事半功倍，特別是一開始設計時，就應該考慮到幾個關鍵的參數，東山真空根據多年實踐，就設計，選擇真空系統主意的問題和大家分享一下：

    1）使真空室（或被抽器件）中能獲得所需的極限真空度和工作真空度。極限真空度是由真空泵長期抽氣后真空室（或被抽器件）所能達到的真空度；工作真空度是指在排氣過程中真空室（或被抽器件）所能維持的真空度。由于在排氣過程中，真空室（或被抽器件）往往需要進行某些處理（如加熱、電子轟擊等），因而會產生大量氣體，故工作真空度一般低于極限真空度。例如真空鍍膜機在開始蒸氣鍍膜時會放出大量氣體，此時真空室（鐘罩）內的真空度稱為工作真空度。又如真空退火爐在升溫過程中，因零件大量放氣，此時的真空度稱之為工作真空度。再如真空電子器件在烘烤排氣過程中的真空度也稱為工作真空度。當烘烤結束，器件內真空度基本維持不變，此時的真空度稱之為極限真空度。為滿足工作真空度和極限真空度，應選擇相應的真空泵，一般所選真空泵的極限真空度要高于真空室（或被抽器件）要求的極限真空度。

    2）使真空室（或被抽器件）獲得所需的抽速。抽速的大小決定了達到工作真空度、極限真空度所需的時間，提高抽速可縮短排氣時間從而提高勞動生產效率。抽速的大小還可根據被抽容器的體積大小以及放氣（漏氣）的大小而定。對于大的真空室如宇航模擬裝置、原子能實驗裝置，以及雖真空室小但放氣、漏氣嚴重的裝置都應采用大抽速的泵。

    3）被抽真空室（或工作室）中有合適的殘氣成分。單純保證工作真空度和極限真空度只反映了系統中的總壓強，還不能*保證某些特殊要求，還應對殘余氣體成分有一定的要求。例如在有氧化物陰極的器件中，殘氣中不應含有cl,s 或其化合物。

    4）真空系統結構簡單牢固，操作維護方便，耗電、耗水少，噪音低，無污染，價格便宜等。

    為滿足上述要求，必須從實用出發，綜合考慮各種因素，合理選用真空泵、真空計、真空閥門及真空管道。如某些被抽容器本身有油污染源，因此選用真空泵就沒有必要選無油真空泵。如某些真空電子器件只需達到10-4帕的高真空，因而只要選用油擴散泵或鈦升華泵作為主泵，普通電離真空計做為測量真空用，若選用濺射離子泵和超高真空電離計就顯得大材小用了。反之，如果需要超高真空的系統，而選用只能獲得高真空的泵和真空計，那么就力不從心了。