傳感器技術發展的重點

　　傳感器技能
　　
　　MEMS工藝和新一代固態傳感器微布局制造工藝：深應聲離子刻蝕（DRIE）工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接、無應力菲薄布局封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感器：如用微硅電容傳感器、微硅質量流量傳感器、航天用動態傳感器、微型傳感器，汽車壓力、加速度傳感器，環保用微化學傳感器等。
　　
　　智能化技能與智能傳感器信號有線或無線探測、變動處理懲罰、邏輯果斷、成果謀略、雙向通訊、自診斷等智能化技能;智能多變量傳感器，智能電量傳感器和種種智能傳感器、變送器。
　　
　　集成工藝和多變量復合傳感器微布局集成制造工藝;工業控制用多變量復合傳感器，如：壓力、靜壓、溫度三變量傳感器，氣壓、風力、溫度、濕度四變量傳感器，微硅復合應變壓力傳感器，陳設傳感器。
　　
　　網絡化技能和網絡化傳感器、傳感器網絡化技能;網絡化傳感器，使傳感器具有工業化尺度接口和協議成果。