美國Alicat MCE和MCV-真空氣體質量流量控制器
易于升級老化的熱流量控制器
使用先進的Alicat MCE或MCV更新您的真空沉積設備。MCE具有與標準質量流量控制器相同的快速控制響應，其外形包括焊接的1/4“VCR接頭，并且與SEMI標準MFC端對端匹配。
MCV將MCE與用于硬真空應用的集成氣動截止閥結合在一起。將空氣管路連接到截止閥，以防止在零設定點條件下受到污染。
多才多藝。 在監(jiān)控流速的同時控制壓力，動態(tài)選擇另一種氣體校準或使用COMPOSER™定義您自己的氣體成分。
連接的。 通過Ethernet / IP，EtherCAT，DeviceNet，Profibus，Modbus（RTU和TCP / IP）或串行通信選項輕松集成到您的數字工業(yè)網絡中。
耐用。 MCE和MCV系列流量控制器可暫時流動液體而不會被破壞。
美國Alicat MCE和MCV-真空氣體質量流量控制器性能
可用范圍：大0-20 slpm，小0-0.5 sccm /0-500sμlm（有關庫存范圍，請參閱零件號選項卡）
調節(jié)比：200：1（MCE / MCV）或100：1（MCES / MCVS）
標準精度校準，NIST可追溯：+/-（讀數的0.8％+滿量程范圍的0.2％）
可選的高精度校準，NIST可追溯：+/-（讀數的0.4％+滿量程范圍的0.2％）
重復性：滿量程范圍的0.2％
典型控制響應時間常數：50-100 ms（PID調節(jié)時低至25 ms）
氣動閥門泄漏完整性（MCV）：1 x 10 -9 atm scc / sec大氦氣
無需預熱時間
美國Alicat MCE和MCV-真空氣體質量流量控制器運行條件
兼容氣體：98（MCE / MCV）或130（MCES / MCVS）預加載可選氣體校準; 可與COMPOSER定義的其他混合物
工作溫度：-10°C至+ 60°C
大內壓（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐壓：175 psig（190 psia）
STP / NTP：用戶可選擇（默認為25°C和1 atm STP / 0°C和1 atm NTP）
美國Alicat MCE和MCV-真空氣體質量流量控制器*型號推薦：
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM- D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
我們公司專業(yè)供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。
