微機電系統（MEMS）振動傳感器與電磁振動臺的協同發展

在現代工程與科研領域，對振動的精確測量與模擬至關重要。電磁振動臺作為模擬振動環境的核心設備，廣泛應用于產品可靠性測試、材料性能研究等場景。而微機電系統（MEMS）振動傳感器憑借其微小尺寸、低功耗、高靈敏度等特性，成為獲取精準振動數據的關鍵部件。二者的協同發展是技術進步的必然趨勢。MEMS 振動傳感器能夠實時、精確地感知電磁振動臺產生的振動信息，為振動臺的控制與優化提供反饋數據；電磁振動臺則為 MEMS 振動傳感器提供標準的振動測試環境，助力傳感器性能的校準與提升。這種協同不僅提升了振動測試與模擬的精度和效率，還拓展了相關技術在航空航天、汽車工業、精密電子等行業的應用邊界 。

電磁振動臺利用電磁感應原理產生振動。核心部件包括勵磁線圈、動圈和臺面。勵磁線圈通入直流電流，在氣隙中形成恒定磁場；動圈位于該磁場內，且與臺面相連。當動圈通入交變電流時，根據安培力定律，載流導體在磁場中受到力的作用，動圈受電磁力驅動，帶動臺面產生振動。通過調節輸入動圈的交變電流的幅值、頻率和相位，可精確控制振動臺輸出振動的幅值、頻率和波形等參數，為各類測試提供穩定、可調節的振動環境 。