北京堀場匯博隆精密儀器有限公司作者
S48 32/HMT氣體質量流量計,氣體質量流量控制器
資料類型 | pdf文件 | 資料大小 | 726965 |
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上 傳 人 | 北京堀場匯博隆精密儀器有限公司 | 需要積分 | 0 |
關 鍵 詞 | 流量計,氣體流量計,質量流量計,質量流量控制器,氣體質量流量計 |
- 【資料簡介】
編號 項目 S48 32/HMT質量流量計,質量流量控制器 1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min2 調節閥類型 電磁調節閥 3 調節閥靜止狀態 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 2%~* 6 流量測量范圍 0~* 7 響應時間 2s(T98,設定值的±2% F.S.) 8 工作環境溫度 5℃~50℃ 9 精度保證溫度 15℃~35℃ 10 精度 ±1.0%F.S. 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 ~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D)
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)14 耐壓 3MPa 15 泄漏率 1×10-8 Pa•m3/s (He) 16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠 17 管路接頭 Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ 18 供電電源 ±15VDC(±5%) +15V<100mA,-15V<150mA +24VDC(寬電壓+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供電時)19 設定信號 (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) 20 流量輸出信號 (0~5)VDC 負載能力≤3mA 21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9 22 重量(kg) 0.9
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