S48 300/HMT氣體質量流量計，氣體質量流量控制器

【資料簡介】

S48 300/HMT數字流量控制器技術指標

編號	項目	S48 300/HMT
1	流量規格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調節閥類型	電磁調節閥
3	調節閥靜止狀態	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-*F.S.
6	流量測量范圍	0-*F.S.
7	響應時間	≤ 1 sec
8	工作環境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min (50-300)kPa(D)                         10L/min-30L/min (100-300)kPa(D)                50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接觸氣體材料	316L，Viton® 氟橡膠，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	設定信號	數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號	數字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負載能力≤3mA
21	通訊接口	數字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協議從機，設備號可選范圍0-15
22	重量(kg)	0.9