四探針測試儀/ 四探針電阻率檢測儀

【資料簡介】

 四探針測試儀/ 四探針電阻率檢測儀型號：BT-300H

 

四探針測試儀是根據四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質量監測的必需儀器。
儀器主要技術指標：
1．   范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，
    分辯率為10-6Ω—cm
         方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω
2．  可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm
3．  測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）
4．  數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V 
  (2)測量誤差 0.2mV檔±（0.3%讀數+8字）
              2 mV檔以上±（0.3%讀數+2字）
  (3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
              20mV檔以上>108Ω
5．  恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA連續可調，由交流電源供給
   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔
   （3）電流誤差：±（0.3%讀數+2字）
6．四探針測試探頭  （1）探頭間距：1mm   (2)探針機械游率：±0.3% 
                   (3) 探針：Φ0.5mm    

 

 

四探針電阻率檢測儀/四探針導體/半導體電阻率測量儀  型號：TD-SB100A/3

由于金屬塊體材料的電阻和金屬薄膜的電阻很低，他們的測量采用四端接線法。為了滿足實際的需要，本儀器采用四探針法原理來實現對不同金屬、半導體、導電高分子材料的電阻及電阻率的測量。可用于高校物理教育實驗，對導體/半導體/金屬薄膜材料的電阻 及電阻率的測試及研究。本產品的電阻測量范圍可達10-6—106Ω。
TD-SB100A/3型四探針導體/半導體電阻率測量儀是由SB118/1型精密電壓電流源以及SB120/2四探針樣品平臺二臺儀器構成。
l            SB118型精密直流電壓電流源 （詳見該產品使用說明書）
直流電流源
a)        電流輸出范圍：1nA~200mA，輸出電壓不小于5V；
b)        量程：分五檔，20μA、200μA、2mA、20mA、200mA；
c)        電流輸出的基本誤差：0.03%RD±0.02%FS（20±2℃）；其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS。
直流電壓源
a)        電壓輸出范圍：5μV~50V，負載電流不小于10mA（20mV以上）；
b)        量程：分五檔，20mV、200mV、2V、20V、50V，每檔均有粗調和細調；
c)        電壓輸出的基本誤差：0.05%RD±0.02%FS（20±2℃）。
數字電壓表（4½LED）利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進行測試
a)        測量量程   20mV，200mV，2V，20V，200V
b)        zui高分辨力  可達1µV
c)        基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS   （20±2ºC）
l            SB120/2四探針樣品平臺（詳見該產品使用說明書）
為被測薄膜樣品，利用四探針測量方式測量導體/半導體樣品的電阻和電阻率，提供了方便。

 

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