中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”通過驗收

【資料簡介】

中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”通過驗收
         2012年12月27日，*重大科技基礎設施維修改造項目“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”驗收會在中科院上海應用物理研究所張江園區召開。會議由計劃財務局潘鋒副局長主持，來自復旦大學、中科院物理所、中科院化學所、蘇州大學、中國科技大學、中科院辦公廳、中科院檔案館、中科院計劃財務局、近代物理所、高能物理所等單位的11位專家組成審核專家組，復旦大學張新夷教授任組長。*計劃財務局、基礎科學局、大裝置辦公室的相關領導出席了本次會議。
　　專家組聽取了項目負責人邰仁忠研究員所作的驗收總結報告，由中科院物理所麥振洪研究員代表測試專家組宣讀工藝測試結果及測試專家意見，隨后進行了現場考察，查看了工藝、檔案、財務和設備資料。經過討論和答疑，驗收專家一致認為，項目各項工藝指標均達到任務書中的驗收指標，部分優于驗收指標；經過近一年的試運行，系統穩定、可靠；項目完成了儀器設備建設任務，做到了賬物相符；項目經費使用基本合理；項目文件材料收集齊全，簽字手續完備，案卷質量符合規范，反映了項目建設的全過程。驗收專家組一致同意通過驗收。
　　“軟X射線干涉光刻（XIL）分支線站建設項目”是上海光源承擔的*大科學裝置維修改造項目。項目的主要任務是在上海光源軟X射線譜學顯微光束線站（BL08U-1A）的基礎上，建設XIL分支光束線和實驗站，充分拓展主線站（BL08U-1A）的用途，建立大面積、高分辨的微、納加工技術。XIL與主線站結合，可以使納米結構的制備、組裝和結構表征、觀察在同一條光束線站上完成，為用戶提供一個研究納米材料和器件的一體化平臺。項目于2009年4月正式啟動，至2011年底所有設備安裝在線調試完畢，2012年1月對用戶開放試運行，2012年11月29日通過了院基礎局組織的工藝測試。