電子行業(yè)廠房無塵車間環(huán)境技術(shù)要求——潔凈度懸浮粒子檢測方法

       電子行業(yè)是一個多元化的行業(yè)，包含新能源鋰電、光伏、電路板、半導(dǎo)體、電子材料、電子產(chǎn)品等眾多領(lǐng)域。近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異，對于新產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求。
       由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格，潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)測指標應(yīng)包括溫度（℃）、濕度（%RH）、懸浮粒子、風速、壓差、噪聲、照度、靜電、氣態(tài)分子污染物等。
       其中采用塵埃粒子計數(shù)器檢測受控環(huán)境中懸浮粒子數(shù)量來驗證潔凈度等級是最關(guān)鍵的。粒子數(shù)量超出潔凈度等級所允許的限值時，將造成受控環(huán)境的異常，導(dǎo)致潔凈度等級降低，嚴重影響產(chǎn)品質(zhì)量。



懸浮粒子測試方法：
1、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應(yīng)位于測試點下風側(cè)并遠離測試點，并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。
2、檢測前和檢測后設(shè)備按照標準要求進行“清零"自凈。



3、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣，進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。
4、采樣口至粒子計數(shù)器的連接管應(yīng)盡量短。



5、采樣點一般離地面0.8-1.5m左右，要均勻科學(xué)布點，而且要避開回風口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域，采樣點的數(shù)目都不得少于2個，按照法規(guī)標準ISO14644及GB16292等內(nèi)容中執(zhí)行，最少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù)，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點。
6、按照ISO14644法規(guī)、GB25915法規(guī)、GB16292法規(guī)標準等內(nèi)容進行測試，用戶根據(jù)標準內(nèi)的測試方法進行采樣點數(shù)量、采樣次數(shù)、每個點采樣量（即計算采樣時間）確認好相關(guān)要求，即可逐步進行粒子潔凈度的監(jiān)測，測試結(jié)果對照法規(guī)等級表進行確認是否合格。



粒子計數(shù)器引用標準如下：
《國際標準潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 ISO 14644-1:2015
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計標準》 GB 50457
《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》 GB50687
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50472
《醫(yī)藥工業(yè)懸浮懸浮粒子測試方法》 GB/T16292
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》 GB 50591
《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 GB 25915

國家標準潔凈廠房潔凈設(shè)計規(guī)范與國際標準 ISO 數(shù)據(jù)對照