產(chǎn)品信息：
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
創(chuàng)譜儀器研發(fā)的高性價比手動探針臺，廣泛應(yīng)用于集成電路、三極管、二極管及光電探測器的IV/CV參數(shù)等性能測試與表征，是光電科研中的基本設(shè)備。
WZH系列高溫探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，整體升降底座，高精度探針座，溫控系統(tǒng)，真空吸附系統(tǒng)等；可應(yīng)用于高溫環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。是一款功能強大的高性能探針臺。
產(chǎn)品特點：
★可測試Wafer尺寸：2英寸-4英寸（還可以升級更大尺寸）
★探針座和樣品整體位移，非常方便客戶對樣品進行同步光電測試
★漏電流精度：100fA，可達10fA
★精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu)，線性移動，精密位移，無回程差設(shè)計
★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用
★1微米以上電極/PAD使用
★模塊化設(shè)計，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
★采用進口溫控系統(tǒng)，優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性和控溫均勻性
產(chǎn)品應(yīng)用：
◆LD/LED/PD的光強/波長測試（集成我司光電儀器）
◆材料/器件的IV/CV等特性分析測試
◆晶圓分析測試
技術(shù)參數(shù)選型：
規(guī)格/參數(shù) |
型號 | WZH-4 |
外形尺寸（LWH） | 600mm×600mm×450mm |
電力需求 | 220VC,50-60HZ |
樣品臺
| 尺寸 | 4寸（圓形/方形）可以定制更大樣品臺 |
行程 | XY軸行程50mm；Z軸行程60mm（可以增加旋轉(zhuǎn)功能） |
移動精度 | XY軸整體1μm；Z軸10μm |
背電極測試功能 | 可以引出電極 |
真空吸附 | 搭配進口無油真空泵，7L/min |
定制模塊 | 可定制位移行程和精度 |
溫控系統(tǒng) | 溫控范圍 | 常溫-300℃（常溫-27K） |
控溫精度 | ±0.1℃ |
控溫穩(wěn)定性 | ±1℃ |
控溫均勻性 | ±3℃ |
探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm |
機械精度 | 1μm |
漏電精度 | 100fA/10fA |
安裝方式 | 可調(diào)磁力吸附/真空吸附 |
接口形式 | 三同軸（Triax） |
光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍（可升級到720倍） |
CCD像素 | 2000W |
中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm |
顯示器 | 12寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡） |
可選附件 | 鍍金卡盤 | 積分球測試選件 | 屏蔽箱 |
隔振支架 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長單色可調(diào)光纖光源（測光電流） |
顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉(zhuǎn)接頭配件 |
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺，以達到更好的使用效果和性價比 |
