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帶有預熱系統的滑動PECVD

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更新時間：2024-09-28 10:55:48瀏覽次數：107次

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長沙沛鈺進出口貿易有限公司

經營模式：經銷商

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產品簡介

型號：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL產品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PECVD管式爐系統，組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發）和德國進口的無油泵

詳細介紹

型號：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL

產品概述：OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PECVD管式爐系統，組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發）和德國進口的無油泵。此款PECVD對于生長納米線或用CVD方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情

設備名稱

帶有預熱系統的滑動PECVD—OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL （2019.12.11—科晶實驗室審核）

產品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示

產品特點

? 與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對薄膜的損壞；

? 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；

? 爐體有兩個溫區，可在爐體內形成溫度梯度，兩個溫區溫差為400℃；

? 帶有預熱爐，氣體可通過此爐預熱也可將液體蒸發氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數

? 連續工作溫度為1100℃

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；兩個溫區溫差為：400℃

? 內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。（點擊圖片查看詳細資料）

? 工作電源：208-240V AC單相，功率：4KW

加熱爐圖1.jpg 溫控儀表.JPG

預熱爐參數

? 溫度：1100℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃；

? 氣體通過等離子射頻電源前，先通過預熱爐，也可將固體和液體原料放在預熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

預熱爐圖1.jpg

電動滑軌

? 可將電動滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動，以達到快速升溫和快速降溫的效果

? 滑動速度：0-70 mm/s（可調）

升降溫速率

? RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內，將控溫程序和溫度曲線導入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費用在本公司購買）

? 為獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區

加熱速率	冷卻速率
15°C/sec (RT - 150°C)	15°C/sec (1000 - 950°C)
10°C/sec (150°C - 250°C)	10°C/sec (950°C - 900°C)
7°C/sec (250°C - 350°C)	7°C/sec (900°C - 850°C)
4°C/sec (350°C - 500°C)	4°C/sec (850°C - 750°C)
3°C/sec (350°C - 550°C)	2°C/sec (750°C - 600°C)
2°C/sec (550°C - 650°C)	1.5°C/sec (600°C - 500°C)
1°C/sec (650°C - 800°C)	1°C/sec (500°C - 400°C)
0.5°C/sec (800°C - 1000°C)	0.5°C/sec (400°C - 300°C)

射頻電源

? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調（穩定性：±1%）	0-500W可調（穩定性：±1%）	0-100W可調（穩定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片