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        3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂
        
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        具體成交價以合同協議為準
        
				
        
				
				
        
						
        
							
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								更新時間：2024-06-19 09:15:06瀏覽次數：236次
							
        
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        經營模式：其他
        
						
        商鋪產品：635條
        
						
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        3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點：超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產設備內部
        
				
        
				
        
                    詳細介紹
                
        
			    
        
			        
        
			             
        3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點： 
        超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
        適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運
        全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
        比MHR系列具有更好的性價比優勢
        機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
        適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
        配備動作監視器
        控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
        全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機
        S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓
        晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
        手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
        可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指

          
        3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數：
        使用環境
        潔凈間內的大氣環境
        手臂
        單臂
        到達距離
        400mm (手臂第3關節中心到達距離)
        升降軸行程
        300mm / 400mm / 500mm
        可搬運質量
        4kg (手臂第3關節處基準)



        如需詳細產品參數 請聯系我們
         
			        
        
			    
        
                			    
                                                				
			
        
			
        
		
        
	
        
	
    
        
		
        
			
        
				
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