Zeta光學輪廓儀Zeta-600基礎參數
型號：Zeta-600
產品：光學輪廓儀/表面輪廓測試系統/LED pss 圖像處理設備
品牌：Zeta澤塔
簡介：用于PCB/FPC自動計量解決方案
Zeta光學輪廓儀Zeta-600簡介
zeta-600光學輪廓儀是一種全自動非接觸、快速三維測量系統量身打造的PCB和FPC的需求。它可以處理高達610×510mm樣品的各種應用，如孔、粗糙度、導線高度、V-CUT以及膜厚。基于專有的zdot™的zeta-600圖像分析技術，對各類樣品的表面特征：光滑到粗糙，低反射率，反射率高，透明到不透明。
zeta-600簡單操作
zeta3d軟件具有簡單和直觀的用戶界面，數據采集和分析。工程師和運營商的一個簡短的學習曲線，以更好的生產力。
zeta-600全自動和快速
全集成，全自動化，一鍵式計量解決方案。高分辨率的三維光學輪廓儀小于36秒，每測量。通孔、粗糙度、導線高度、V-CUT及膜厚不卸載樣品和移動到一個新的工具的需要量
610mmx510mm樣品的zeta-600最多可以處理610mmx510mm樣品。它非常適合PCB/FPC計量需求。
Zeta光學輪廓儀Zeta-600技術規格
1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
3靜態重復性基于VLSI 0.94μm臺階高度標準，100X / 0.9n
目的，壓階段，與標準zdot成像模式
技術規格：zeta-600
尺寸（mm） 系統（寬）：1003 x 1003 x 1667
重量：500磅（278kg）
zeta-600操作規范
電壓：100 - 230伏
電流：4A
操作溫度：18-30°C，非冷凝，±°C每小時1
Zeta-600系統的特點
相機選項：1024x768 1280x960，1920x1440
放大倍數：25000x結合光學與數字
照明：兩（2）超亮白光LED
機動化階段：610×510mm XY旅游
Z軸行程：40mm
隔振：內置
真空（可選）：600毫米汞柱
Zeta-600性能規格
計量：＜36秒/網站（zdot™）
電影：每個網站~ 3秒（ZFT）
像素分辨率：0.09μ
民z-step：2 nm與壓電階段13納米標準Z驅動
z軸分辨率：1?zsi選項
13納米標準zdot
±Z精度：0.5%
repeatability1：±30 nm（1σ）
