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高精度六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod

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產(chǎn)品簡介

六軸位移臺/六足位移臺HybridHexapod-高精度昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺HybridHexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能

詳細(xì)介紹

六軸位移臺/六足位移臺Hybrid Hexapod-高精度

昊量光電推出全新一代高精度六軸位移臺Hybrid Hexapod采用了與傳統(tǒng)6自由度(6-D)定位設(shè)備不同的方法，并以競爭力的價格展示了更高的性能。六軸位移臺Hybrid Hexapod結(jié)合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)的Theta- Z軸，而不是6個獨(dú)立的腿(和12個連接接頭)，提供的整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足位移臺運(yùn)動學(xué)過時了，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍上都有了數(shù)量級的改進(jìn)，幾乎可以無限的XY行程，可編程的工具中心點(diǎn)位置。

六軸位移臺Hybrid Hexapod具有小于100nm的三維6軸點(diǎn)精度重復(fù)性，使其成為、、光子學(xué)、半導(dǎo)體、計(jì)量和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項(xiàng)目的關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。

傳統(tǒng)的六足位移臺無法達(dá)到亞微米的精度，因?yàn)樗鼈冃枰_協(xié)調(diào)所有六個軸的運(yùn)動來完成一個運(yùn)動輪廓，即使這個要求只是一個簡單的單軸運(yùn)動。此外，盡管人們普遍認(rèn)為六足位移臺比串行堆疊的多軸系統(tǒng)表現(xiàn)出良好的剛度，但這實(shí)際上只是在垂直的“Z"軸上，在“XY"平面上存在弱點(diǎn)。

特點(diǎn)

高精度交叉滾柱導(dǎo)軌
直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸
線性電機(jī)和/或滾珠絲桿驅(qū)動器
無限制編輯工具中心點(diǎn)位置和坐標(biāo)位移
所有承軸零間隙

主要參數(shù)

XY軸行程60mm和100mm，蕞大450mm（無限制XY行程）
Z軸行程62mm（其他同類產(chǎn)品蕞大208mm）
Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續(xù)可調(diào) 360 Deg Theta-Z
XYZ 雙向重復(fù)性小于 ±100nm
角度雙向重復(fù)性小于 ±0.6 arc-sec
XY軸位移速度可達(dá)100mm/s，Z軸位移速度可達(dá)20mm/s Z (大于線性電機(jī)版)
線性不穩(wěn)定性小于20nm，角不穩(wěn)定性小于0.1 arc-sec

應(yīng)用

非球面和自由光光學(xué)檢測
封裝與探測硅光子
激光微加工（非平面基板和錐度控制）
晶圓測量
相機(jī)模塊的對準(zhǔn)與裝配
傳感器/圖像穩(wěn)定性測試
光學(xué)元件的耦合

迷你六軸位移臺MINI Hybrid Hexapod

迷你六軸位移MINI Hybrid Hexapod是自動鏡頭對準(zhǔn)/粘接到陣列的理想選擇。它在構(gòu)建相機(jī)陣列模塊、平移式OIS、用于手機(jī)相機(jī)和等日常產(chǎn)品中的微型相機(jī)

的望遠(yuǎn)鏡集成鏡頭方面都很有幫助。任何需要6度自由定位的納米/弧秒級增量運(yùn)動和重復(fù)性的應(yīng)用都非常適合該產(chǎn)品，因?yàn)楫a(chǎn)品傳感器分辨率的提高推動了對更高精度的需求。

大角度六軸位移臺Angulares Hybrid Hexapod

到目前為止，大角度六軸位移臺Angularstm Hybrid Hexapod的60度tip/tilt行程是市面上任何六自由度(6-DOF)定位器所能提供的zui大角度行程范圍。它非常適合應(yīng)用于非球面和自由曲面光學(xué)計(jì)量，硅光子學(xué)封裝和探測，激光微加工(非平面基片和錐度控制)，晶圓計(jì)量，相機(jī)模塊對準(zhǔn)和裝配，傳感器/圖像穩(wěn)定測試，以及光學(xué)元件和光纖對準(zhǔn)。

大角度六軸位移臺具有精密交叉滾子軸承導(dǎo)軌，光學(xué)增量或編碼器反饋在所有軸，直線電機(jī)和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器，無限可編程的工具中心點(diǎn)位置和坐標(biāo)偏移，和零后座力。它能夠無限XY位移,Z軸位移在使用其它三腳架模式下62mm增加到208mm，連續(xù)360度Theta-Z下的60度tip/tilt行程(+/- 30度)， XYZ雙向重復(fù)性小于+/- 0.6角秒，速度高達(dá)100mm/s XY和Z，小于10nm的線性和0.1弧秒的小增量角運(yùn)動。

ALIO’s Hybrid Hexapod® 為 6D Motion 提供了一種革命性的方法，與傳統(tǒng)的六足設(shè)計(jì)相比，精度高出一個數(shù)量級，行程更長，速度更快，剛度更大。