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束蘊儀器（上海）有限公司
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| 加工定制 | 否 |
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靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。
應用范圍：靈活的OEM設備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠，從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口，易于連接到許多處理或自動化系統。
MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測，每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產線上的來料質量檢查是用的一種應用方向，同樣，鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。
還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成，只需要以太網連接和電源。
允許單片調查
配方的基礎測量
監控材料質量、工藝的完整性和穩定性
優勢
在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段，直到設備，磚或錠。
小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結果的精度。
樣品 | 多晶或單晶晶圓原料, 晶錠，晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
conduction type | p, n |
材質 | 硅晶圓，部分或*加工的晶圓，復合半導體等 |
測量屬性 | 載流子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg |
電源 | 24 V DC, 2 A |
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