TESCAN掃描電鏡LYRA 3 GM

分析潛力

• 高亮度肖特基發射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
• 可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭
• 的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了多種工作模式和顯示模式，體現了TESCAN可優化電子束光闌的中間鏡設計
• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進行束斑優化
• 成像速度快
• 低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）
• In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析
• 全計算機化優中心電動載臺設計優化了樣品操控
• 的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
• 由于使用了強力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。
• 全自動設置的顯微鏡包括了電子光路設置和合軸功能
• 網絡操作和內置遠程控制/診斷軟件為標配
• 3維電子束技術提供了實時立體圖像
• 在低真空模式下樣品室真空可達到500Pa，用于觀測不導電樣品
• 的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應非常低
• 聚焦離子束鏡筒內有馬達驅動高重復性光闌轉換器
• 聚焦離子束的標配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
• 在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和的性能
• FIB切割、信號采集、3維重構（斷層攝影術），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
• 成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能

LYRA3配置

LYRA3 GMH
裝有馬達驅動全計算機化優中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導電樣品的分析。

LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。