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245次日本motoyama薄膜晶體制造設備LPE爐技術
LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設備在日本擁有100多個單位。它由高精度垂直管式爐，旋轉升降驅動軸和控制單元組成，控制單元具有*的溫度控制精度，可實現高效的薄膜晶體生產。
通過預先輸入過程詳細信息，將以確定的值自動執行目的地，移動速度，旋轉狀態和旋轉速度。
LPE薄膜晶體制造設備規格 | |
加熱器容量 | 單相200V 2.3kW x 3個區域 |
加熱室尺寸 | φ280×H650毫米 |
常溫 | 800℃?900℃ |
z高溫度 | 1000℃ |
溫度分布 | ±2℃（空氣爐穩定在850℃時，φ100×H200mm的空間） |
溫度波動范圍 | ±0.2℃（空氣爐穩定在850℃時，φ100×H200mm的空間） |
加熱元件 | SSS加熱器 |
芯管 | φ220×φ205×L800mm |
LPE熔爐驅動單元（樣品軸）規格 | |
提升速度 | 20-300毫米/分鐘 |
停止精度 | ±1mm以內 |
旋轉方式 | 前進/后退 |
轉速 | 20-300 rpm（帶軟啟動） |
轉速波動精度 | 在±1％FS之內 |
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