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        日本DNK半導體行業用實驗和研究的手動批量曝光機產品特點

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        日本DNK半導體行業用實驗和研究的手動批量曝光機產品特點

         

        MA-1200,MA-1400

        • 這是一臺用于實驗和研究的手動批量曝光機,支持玻璃,晶圓,薄膜等。小批量生產的理想選擇。
        • 可以選擇接觸曝光(軟/硬)和接近曝光。
        • 支持z大500 mm x 500 mm的板。配備了光學系統,可根據應用和板子尺寸將超高壓汞燈(500W,1kW,2kW,3.5kW)與各種鏡子,特殊透鏡,聚光鏡等??進行z佳組合。

        MA-1200A

        • 手動批量曝光機非常適合于高混合,小批量生產,實驗和研究,并且可以進行穩定的自動間隙控制。

        • 通過減少占用空間實現節省空間。

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        MA-1200

        MA-1400

        面板尺寸

        z大200 x
        200mmø4“?ø6”

        高達400 x 400mm

        光源

        超高壓汞燈:500W或1kW

        超高壓汞燈:2kW或3.5kW

        尺寸和重量

        車身尺寸

        寬12x深1100 x高1725毫米

        寬1440 x深1590 x高1882毫米

         

        體重

        400公斤

        400kg(包括干凈的圍欄)

         

        光源重量

        --

        250公斤

        選項

        支持特殊的工作尺寸,例如干凈的圍欄,背面對準,硬接觸(真空接觸類型),自動對準,破裂的基板(需要咨詢)


        MA-1200A

        晶圓尺寸

        ø2“?ø6”

        光源

        超高壓汞燈:500W或1kW

        尺寸和重量

        車身尺寸

        寬850 x深1150 x高1665毫米

         

        重量

        400公斤

        選項

        背面對齊,自動對齊,木板破裂,條形碼讀取器和LOG存儲支持(需要咨詢)

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