活性炭吸附脫附催化燃燒設備是將吸附濃縮單元和熱氧化單元有機結合起來的一種有機廢氣處理設備，主要適用于低濃度有機氣體尤其對大風量的處理場合，均可獲得比較滿意的經濟效果。經吸附脫附后轉化成小風量、高濃度有機廢氣，對其進行熱氧化處理并將有機物燃燒釋放的熱量有效利用。活性炭吸附脫附催化燃燒設備主要是根據吸附（效率高）和催化燃燒（節能）兩個基本原理設計的，即活性炭吸附脫附催化燃燒法。

活性炭吸附脫附催化燃燒廢氣處理工藝流程，主要包括三部分吸附氣體過程、脫附氣體過程、催化燃燒過程。

1.吸附氣體過程

吸附氣體流程利用活性炭的物理特性對VOC有機廢氣進行吸附，且蜂窩狀活性炭比表面積大、吸附能力強特性，將有機廢氣吸附到活性炭的微孔中，從而使氣體得以凈化，凈化后的氣體再通過風機排空；

2.脫附氣體流程

當活性炭微孔吸附飽和時，將不能再進行吸附，此時利用催化床產生的高溫熱風對活性炭進行脫附，活性炭微孔中的有機物遇高溫后自動脫離活性炭，使活性炭再生。

3.催化燃燒過程

脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并被送入催化燃燒室進行催化燃燒，在催化劑上在250～300℃進行催化氧化，使其轉化為無害的CO2和H2O排出，當有機廢氣濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用另外再行加熱，燃燒后的尾氣一部份直接排到大氣，大部份熱氣流被再次循環送往吸附床，用于對活性炭的脫附再生。這樣既能滿足燃燒和脫附所需熱能，又能達到節能的目的，再生后的活性炭可用于下次吸附。該設備可采用雙氣路連續工作，工作量較大時設兩個吸附床交替切換使用，一個催化燃燒室，先將有機廢氣經其中一個活性炭吸附床對氣流中的廢氣進行吸附，當活性炭快達到飽和時吸附床兩端的密閉閥門同時關閉，即停止吸附工作，同時另一臺吸附床自動打開開始接替吸附工作。如此以來兩臺吸附床切換運行可實現連續工作。

有時為了增加活性炭吸附脫附催化燃燒設備的使用壽命和處理效果，可以在活性炭吸附脫附催化燃燒設備之前加裝預處理設備，例如噴淋塔、干式過濾器或者除塵器，這些設備可以過濾廢氣中的顆粒物及粘性成分。