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長春博盛量子有限公司
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產品型號：ATLEX-S品牌名稱：德國ATLLasertechnikATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設計用于低、中占空比的OEM應用
產品型號：ATLEX-S
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設計用于低、中占空比的OEM應用。
產品特點：
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預電離技術
· HV-固態脈沖發生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷，溫度控制
· 系統集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光學鏡架
· 能量穩定模式
· 符合歐洲CE標準
· RoHS認證
產品應用：
· 光譜學
· 微加工
· 測試和測量
產品參數：
| ATLEX-S產品參數 | |||||
| 氣體介質 | ArF | KrF | 單位 | ||
| 波長 | 193 | 248 | nm | ||
| 高壓開關技術 | 固態開關 | 固態開關 | | ||
| 重復頻率 | 300 | 500 | 300 | 500 | Hz |
| 脈沖能量1 | 10 | 10 | 15 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 2,4 | 4 | 4 | 6 | W |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |||
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |||
| 光束發散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |||
| 能量穩定性（標準偏差） | < 3 | % | |||
| 尺寸（長x寬x高） | 630 x 400 x 300 | mm | |||
| 重量 | 65 | kg | |||
| 冷卻 | Air | | |||
| 電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |||
所有規格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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