小型離子濺射儀報價小型離子濺射儀報價 型號:YBT3-SD-3000庫號：M250167  

原理：

依據二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調整控制器、微型真空氣閥在工作時結合內部自

動控制電路控制真 空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體。根據電場中氣體電離

te 性，采用da 容量樣品濺射真 空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層均 勻 純 凈。

參數：

? 主機規格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

? 靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

? 靶材：Au（標配）

? 樣品室：硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm（D×H）

? 靶材尺寸：Ф 50mm

? 真空指示表： zui 高 真 空度：≤ 4X10-2 mbar

? 離子電流表： zui 大 電流：50mA

? 定時器： zui 長時間：1-360s

? 微型真 空氣閥：可連接φ 3mm 軟管

? 可通入氣體： 多種

? zui 高電壓： -2800 DCV

? 機械泵：標準配置 2L/S（國產 VRD-8）

用途：

適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導體材料實驗電極制作。

特點：

2、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA 手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不 必 要的損 傷。

4、真 空保護可避免真 空過低造成設備短路。

5、同時可以通過換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達到geng 細顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到純凈的涂層。

7、高壓輸出涂層牢固，適用于非導體材料實驗電極制作