真空泵的選擇：
1、真空泵選型中，確定的產(chǎn)品需保證能順利抽出工藝過程中釋放出來的各種氣體。真空泵的應(yīng)用工藝中，氣體介質(zhì)多種多樣，易燃易爆的、易凝結(jié)的、易化反、易腐蝕的等，選用的真空泵就需保證適用性。例如，工藝過程會產(chǎn)生大量水蒸氣，選用的真空泵就必須適合抽水蒸氣。
2、真空泵的極限真空度，必須高于工藝生產(chǎn)要求的真空度，至少要高一個數(shù)量級，并且設(shè)備適合在要求的工作真空度范圍內(nèi)工作。
3、真空泵的抽速要大于工藝過程中的大放氣量。為保證真空度，真空泵選型中涉及工藝過程中持續(xù)放氣的，真空泵或者真空系統(tǒng)的抽速要滿足大于工藝過程中的大放氣量。
4、真空泵選型中，選用的真空泵其工作介質(zhì)和制造材料須滿足工藝要求。真空泵應(yīng)用，尤其是在醫(yī)藥、化工、電池等領(lǐng)域，抽取的介質(zhì)往往是具有腐蝕性的氣體，這時就要求設(shè)備要有相應(yīng)的防腐措施。
5、需連續(xù)生產(chǎn)的工藝中，所選用的真空泵必須滿足連續(xù)性生產(chǎn)的需要。必要時，設(shè)置自動更換的備用真空泵，減少意外導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷。如果工藝過程中放氣量越來越小，可以設(shè)置維持泵，以實現(xiàn)節(jié)能降耗。
真空泵種類 工作壓強范圍(Pa) 起動壓強(Pa)
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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