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        廣電計量檢測集團股份有限公司

        日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

        參考價 550000
        訂貨量 ≥1000
        具體成交價以合同協議為準
        • 公司名稱深圳九州工業品有限公司
        • 品       牌
        • 型       號ME-210/ME-
        • 所  在  地深圳市
        • 廠商性質經銷商
        • 更新時間2023/4/7 8:59:19
        • 訪問次數1298
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        深圳九州工業品有限公司,坐落于深圳市,是一家工業品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產品、儀器儀表、工業器材的銷售及其它國內貿易、經營進出口等業務。搭建工業品供應鏈,采用與 MRO分銷商結盟的方式,把零散采購訂單集中處理,流程簡化,提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建專業國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業產品和優質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通,和眾多國外生產廠家建立了長久合作伙伴關系。










        設備
        日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T
        這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
        支持各種膜厚分布測量。
        日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀 產品信息

        日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T

        日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T


        這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
        支持各種膜厚分布測量。

        規格

        • 測量

        重復性
        • 膜厚:0.1nm
          折射率:0.001 *SiO2膜的一點(膜厚:約100nm)重復測量100次時的標準偏差值。

        測量速度
        • 最大測量速度
          900 點/分鐘以上(寬模式,測量 100 平方毫米面積時)
          5,000 點/分鐘或以上(高清晰模式,測量 1 平方毫米面積時)

        光源
        • 半導體激光器(振蕩波長636nm)

        測量點
        • 廣域模式:0.5 平方毫米
          高清模式:5.5 微米平方

        入射角
        • 70度

        尺寸
        (寬 x 深 x 高)
        • 270×337×最大631mm

        兼容透明基材
        • 兼容 ME-210-T
          不兼容 ME-210


        • 住房

        舞臺尺寸
        • 支持最大 8 英寸晶圓
          (最大 ?300 mm 可選)

        尺寸
        (寬 x 深 x 高)
        • ME-210-T 650×650×1744mm
          ME-210 650×650×1740mm

        重量
        • 約200公斤

        界面
        • GigE(相機信號)


        • 其他的

        界面
        • GigE(相機信號)

        電源
        • AC100-240V

        軟件
        • ME-視圖

        配件
        • 臺式電腦、顯示器、使用說明書、標準樣品


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