LIBSOPA實現了一維線性掃描、一維深度分析和二維面掃描分析，用統計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內部缺陷分析等指標。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術手段及質量判據 。
儀器特點：
非接觸、微區、深度分析；兼具原位統計分布分析功能；分析空間分辨率150-400μm
儀器參數：
一.激發光源
激光器：燈泵固體激光器
輸出波長：1064 nm
脈沖頻率：1~10Hz可調
二.雙視場成像：
全景視場：100mm*100mm
微區視場：8mm*8mm
三.移動掃描系統：移動分辨率：1μm
行程：80mm*80mm
四.剝蝕光斑 ：
軟件自動調節
尺寸：150μm ~400μm
五. 分光系統：
巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm
高發光全息光柵，刻線為2400條/mm
譜線范圍：170~800nm
分辨率：優于0.01nm
惰性氣體密閉樣品倉
可檢測短波元素（C,P,S,B)
