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輝光等效等離子PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-PECVD 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

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公司名稱重慶開(kāi)衡科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/5/31 9:05:42
訪問(wèn)次數(shù)244

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

重慶開(kāi)衡科技有限公司成立于2011年，是由一批有著高等學(xué)歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。公司自成立以來(lái)，不斷拓寬資源渠道，完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，積累專家智庫(kù)，提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學(xué)研究、分析檢測(cè)相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和消耗品“一站式”采購(gòu)平臺(tái)，幫助客戶建設(shè)一個(gè)完備可靠的實(shí)驗(yàn)室。一個(gè)渠道，無(wú)限解決方案。開(kāi)衡科技提供所有實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理，不限生產(chǎn)廠家，憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力，幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。我們的產(chǎn)品包括：天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機(jī)、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測(cè)儀器、樣品低溫存儲(chǔ)設(shè)備、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實(shí)驗(yàn)室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測(cè)設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、移液器，以及實(shí)驗(yàn)室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實(shí)驗(yàn)室家具等等。開(kāi)衡科技以豐富的選擇，便捷的網(wǎng)絡(luò)，迅速有效的售后服務(wù)，為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位，涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實(shí)干，公司在用戶中已贏得廣泛贊譽(yù)，并成為重慶地區(qū)科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。

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實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備，，

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雙層風(fēng)扇散熱裝置主要特點(diǎn)貝意克公司研制的PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

輝光等效等離子PECVD系統(tǒng) BTF-1200C-PECVD 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī) 產(chǎn)品信息

雙層風(fēng)扇散熱裝置

主要特點(diǎn)

貝意克公司研制的PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。其優(yōu)勢(shì)有沉積溫度低，沉積速率快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂等。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：	BTF-1200C-PECVD
實(shí)驗(yàn)機(jī)理：	PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。
技術(shù)參數(shù)：	加熱區(qū)參數(shù) 反應(yīng)腔體尺寸：Φ50，Φ60，Φ80，Φ100 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm（±1℃）工作溫度：1100℃ Z高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能控溫精度：±1℃ 升溫速率：20℃/min 爐門(mén)結(jié)構(gòu)：開(kāi)啟式工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：3KW
	真空參數(shù) 采用KF25系列波紋管和手動(dòng)擋板閥；真空度可達(dá)10^-3torr；數(shù)顯真空測(cè)試儀可直觀的顯示數(shù)值。
	流量控制參數(shù) 內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量；氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%；一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥；不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入。
	射頻電源與匹配器電源：?jiǎn)蜗?0/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開(kāi)關(guān)：32A空氣開(kāi)關(guān) 薄膜生長(zhǎng)室溫度：室溫~ 1200℃ 射頻頻率：13.56MHz 射頻功率輸出范圍：5~500W
細(xì)節(jié)展示：
外型尺寸：	爐體：940×380×520mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm
凈重：	130Kg
認(rèn)證和：	號(hào)：ZL.0 （產(chǎn)品，防偽必究）