儀器簡介：
ZSX Primus Ⅳ是理學公司全新奉獻的上照射式X射線熒光光譜儀,因采用了新型分光晶體,使輕元素分析(如C,B)靈敏度大幅度提高。超輕元素對應X射線光管,大功率4千瓦,薄窗,適合輕元素分析。48樣品臺,節省空間.1次濾波片,可去掉來自光管的特征譜線,減低背景。雙真空,雙泵設計,節省抽真空時間。防粉塵附件,可防止粉末掉入真空泵。微區分析可達500，適合少量樣品分析。
軟件在原有的SQX軟件基礎上進一步完善,采用對話方式,進行EZ掃描。應用模板,可將各種測試條件,以及前處理順序設置其中。FP無標樣分析,是理學公司多年來總結出的一套很好的分析方法,不設定測試成分也能準確分析。流程條,按順序顯示測試處理內容。
技術參數：
硬件：
1. 對應超輕元素的X射線光管：采用4kW、30μm薄窗X射線光管，可高靈敏度測試超輕元素。
2. 采用新型光學系統：采用新型分光晶體，與第二代儀器分光晶體相比，大幅度提高了靈敏度。
3. 48樣品交換器：實現平臺式共享化，可放置48個樣品，多樣品交換器實現了省空間。
4. 1次X射線濾光片：除去X射線光管的特征X射線光譜，在減低背景干擾方面發揮威力。
5. 雙泵、雙真空系統：采用雙真空系統（樣品室/預抽真空室）；防止粉末樣品的細微粉塵混入光學系統的 結構設計，樣品交換實現更高效率。
6. 粉末附件：電磁閥真空密封、防止細微粉塵進入真空泵內。
7.定點分析：
100μm的Mapping分辨率?？稍贑CD圖像上點、區域、線。定點 小直徑500μm。
采用r-θ樣品臺，避免1次X射線的照射面、以及分光晶體的反射強度的干擾，可得到很佳靈敏度分析結果。(無r-θ樣品臺) 節能、節省空間、節能功能（自動減少X射線光管輸出）減少冷卻水量5L/min（水溫30以下）PR氣體流量減少（5mL/min）省空間。采用聯體設計，設置面積只占傳統儀器70%的空間。便于維護PAS脈沖高度自動調整 F-PC芯線自動清洗。
軟件：
1. 新版SQX軟件：在RIGAKU的基本參數法技術的基礎上SQX（Scan Quant X），追加了新功能。
2. 委托分析EZ掃描：采用對話框形式設定，可進行SQX分析。
3. 定角測試模式：微量元素，采用譜峰和扣背景以一定時間記數方法，使用抑制統計變動的X射線強度，算出分析值。自動設定每個樣品變化扣背景的位置。
4. 應用模板 ：各種測試條件以及樣品前處理順序均設置其中。
5. 散射線FP法：
不需設定非測試成分，也可以準確分析。散射線強度計算，可以考慮幾何學效果，沒有樣品量信息也可準確分析。不易加壓成形的樣品以及油狀樣品，使用SQX軟件，可以簡單、準確地進行分析。
