美國(guó)METONE 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器
METONE 341適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測(cè)、過(guò)程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有ISO 21501數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)潔凈的 0.1um 微粒。
可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級(jí)別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染
熱插拔電池確保儀器長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無(wú)論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無(wú)需停機(jī)
測(cè)試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤
順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控解決方案。用單臺(tái) MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。
靈活的通訊方式——設(shè)置簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無(wú)線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作
直觀的用戶界面
簡(jiǎn)便的區(qū)域，位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤，并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃！
符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
美國(guó)METONE 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器
通道個(gè)數(shù) 6
粒徑 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源 氦氖激光器
重量 不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤
尺寸 33 W 55.9 D22.9 H cm (寬 x 長(zhǎng) x 高)
機(jī)箱材質(zhì) 便于清洗的鈍化不銹鋼
流速 1.0 CFM (28.3 LPM)
零計(jì)數(shù) ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
符合損失 在 50,000 /ft3 時(shí)，為5%，符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)
泵的類型 可供連續(xù)使用的多瓣閉路循環(huán)控制泵
計(jì)數(shù)效率 在0.1 µm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時(shí)為
運(yùn)行溫度 10 至 40°C; 相對(duì)濕度為10 至 90%，無(wú)冷凝
顯示 ¼ VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機(jī) 高速熱敏打印機(jī)
語(yǔ)言 英語(yǔ)，法語(yǔ)，德語(yǔ)，意大利語(yǔ)，西班牙語(yǔ)，韓語(yǔ)*，日語(yǔ)*，中文
可以顯示的數(shù)值 9,999,999 displayed
延遲時(shí)間 15秒鐘至23小時(shí)59分59秒
采樣/停留時(shí)間 1秒鐘至23小時(shí)59分59秒
計(jì)數(shù) 1~ 9,999,999 個(gè)計(jì)數(shù)值
位置 編號(hào)：0 至 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 5,000 個(gè)樣品， 在歷史數(shù)據(jù)查看頁(yè)面上可以滾動(dòng)(FIFO 或 Overflow)
輸出 USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無(wú)線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (掃描探頭)
鋰電池 可充電、可熱插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入 空氣速度探頭，相對(duì)濕度/溫度探頭
自動(dòng) CDA 清洗 連接到CDA之后，清洗電磁閥會(huì)被激活
電源 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型 智能鋰電池，可充電，可熱插拔
電池使用時(shí)間 短 3 小時(shí)
電池的充電時(shí)間 電池的充電時(shí)間
包含電池?cái)?shù)量 2組
