低溫等離子體廢氣處理低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。
低溫等離子體廢氣處理低溫等離子體被稱作除固態、液態和氣態之外的第四種物質存在形式。等離子體是由電子、離子、自由基和中性離子組成的導電性流體，整體保持電中性。按離子的溫度，等離子體可分為熱平衡等離子體（熱等離子體）和非平衡等離子體（低溫等離子體）。在熱平衡等離子體中，電子與其他離子的溫度相等，一般在5000K以上；在非平衡等離子體中，電子溫度一般要高達數萬度，而其他離子的溫度只有300—500K。
采用低溫等離子體分解氣體污染物時，等離子體中的高能電子起決定性作用。數萬度的高能電子與氣體分子（原子）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一些列過程，使氣體處于活化狀態。電子的能量較低時，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當電子平均能量超過污染物分子化學鍵結合能時，分子鍵斷裂，污染物分解。
常規意義上的等離子體態是中性氣體中產生了相當數量的電離。當氣體溫度升高到其粒子的熱運動動能與氣體的電離能可以比擬時，粒子之間通過碰撞就可以產生大量的電離過程。
并非只有*電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質。當體系中“電性”比“中性”更重要時，這一體系可稱為等離子體。
